X射線熒光光譜儀可以測(cè)量元素周期表中鈹以后的每一種元素，在實(shí)際應(yīng)用中，有效的元素測(cè)量范圍為9號(hào)元素到92號(hào)元素，濃度范圍從100%至亞ppm級(jí)。儀器具有重現(xiàn)性好，測(cè)量速度快，靈敏度高的特點(diǎn)。樣品可以是固體、粉末、熔融片，液體等，分析對(duì)象適用于煉鋼、有色金屬、水泥、陶瓷、石油、玻璃等行業(yè)樣品。

　　X射線熒光光譜儀主要由以下幾部分組成：激發(fā)系統(tǒng)，主要部件為X射線管，可以發(fā)出原級(jí)X射線（一次X射線），用于照射樣品激發(fā)熒光X射線；分光系統(tǒng)，對(duì)來(lái)自樣品待測(cè)元素發(fā)出的特征熒光X射線進(jìn)行分辨（主要為分光晶體）；探測(cè)系統(tǒng)，對(duì)樣品待測(cè)元素的特征熒光X射線進(jìn)行強(qiáng)度探測(cè)；儀器控制和數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)，處理探測(cè)器信號(hào)，給出分析結(jié)果。

　　在測(cè)定微量成分時(shí)，由于X射線管的連續(xù)X射線所產(chǎn)生的散射線會(huì)產(chǎn)生較大的背景，致使目標(biāo)峰的觀測(cè)比較困難。為了降低或消除背景和特征譜線等的散射X射線對(duì)高靈敏度分析的影響，此儀器配置了4種可自動(dòng)切換的濾光片，有效地降低了背景和散射X射線的干擾，調(diào)整出醉具感度的輻射，進(jìn)一步提高了S/N的比值，從而可以進(jìn)行更高靈敏度的微量分析。當(dāng)某些元素的電子由高等級(jí)向低等級(jí)越遷時(shí)釋放的能量相近，會(huì)使此時(shí)譜圖的波峰重疊在一起，由此產(chǎn)生了重疊峰。其軟件自動(dòng)剝離重疊峰，確保了元素分析的正確性。

　　X射線熒光光譜儀的測(cè)試步驟：

　　（1）選擇分析方法與制樣方法。分析方法一般有基本參數(shù)法、半基本參數(shù)法、經(jīng)驗(yàn)系數(shù)法等，制樣方法一般有拋光法、壓片法、濾紙片法和熔片法，常用粉末壓片法制樣，采用基本參數(shù)法測(cè)試。

　　（2）將制備好的樣片裝進(jìn)樣品杯，放入樣品交換器中，自動(dòng)進(jìn)樣至樣品室，X射線管發(fā)出原級(jí)X射線照射樣品，激發(fā)出待測(cè)元素的熒光X射線。

　　（3）樣品輻射出的熒光X射線通過(guò)分光晶體，將X射線熒光光譜色散成孤立的單色分析線，由探測(cè)器測(cè)量各譜線的強(qiáng)度，根據(jù)選用的分析方法換算成元素濃度，得到樣品中待測(cè)元素含量。